非氫氟酸base之玻璃(石英)蝕刻液
專門用來取代氫氟酸的酸性玻璃蝕刻液，為中弱酸性系統中的玻璃蝕刻液。不會攻擊與分解乾、溼光阻。室溫下蝕刻玻璃速率約與15~20%HF相同，對石英玻璃或矽晶圓材質蝕刻時，不會產生晶界腐蝕現象，能得到高度平滑、光亮的蝕刻表面。
蝕刻速率-
1.一般玻璃: 5-8 um/min at 40'C
2.石英玻璃: 2 um/hr at 40'C
others
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蝕刻速率-
1.一般玻璃: 5-8 um/min at 40'C
2.石英玻璃: 2 um/hr at 40'C